http://quartz-ir-heat-pro.com/ko/tags/%EC%A0%81%EC%99%B8%EC%84%A0ir/ Recent content in 적외선(IR) on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="웨이퍼용 정밀 적외선 센서"></p> <p>라인에서 웨이퍼는 극히 제한된 열 예산으로 베이크 스테이션에 도달한다. 소프트 베이크는 포토레지스트 프로파일을 설정하고, 하드 베이크는 패턴 충실도를 고정한다. 몇십 분의 1도 단위의 온도 드리프트, 눈에 보이지 않는 핫스팟이 생기면 CD가 흔들리기 시작한다. 펠리클 응력이 변하고, 결함이 검사망을 통과한다. 다음날 아침 수율 리뷰에서는 온도 불균일성 문제가 직접 지적된다.<br> 이 연쇄 반응을 근본에서 차단하기 위해 웨이퍼 표면 온도를 직접 현장(in situ)에서 읽는 정밀 IR 센서를 개발했다. 이 센서는 리소그래피 베이크 단계에 요구되는 해상도와 반복성을 갖추고 있다. 챔버 벽에서 추정하지 않고, 히터만 보고 레지스트를 보지 않는 열전대에서 보간하지 않는다. 순수하고 안정적인 신호를 사이클마다 신뢰할 수 있다.</p>