웨이퍼 on Pro Quartz Infrared Heating

웨이퍼 공정용 온도 센서

Fri, 24 Jul 2026 11:34:49 +0800

더 이상 가열 요소가 생산성을 해치도록 내버려 두지 마세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면 그 고통을 잘 알 것입니다. 아주 작은 먼지 한 조각이나 가스가 새어 나오기만 해도 전체 제품이 오염되어 버립니다. 정말 짜증나는 일이죠. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 이런 상황에 적합하지 않습니다. 바로 안정적으로 작동해야 할 순간에 오히려 파손되거나 휘발성 유기화합물(VOCs)을 방출합니다.

웨이퍼 경화용 반사기

Sun, 19 Jul 2026 15:42:31 +0800

불량한 램프로 인해 웨이퍼가 손상되는 것을 막아야 합니다.
고부하 상태에서 웨이퍼를 처리할 때 램프가 고장나면 정말 큰 문제가 됩니다. 단순히 기계가 잠시 멈추는 것보다 더 심각한 문제입니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 할로겐 찌꺼기들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되고, 그 결과 웨이퍼는 즉시 폐기됩니다. 값비싼 웨이퍼들이 순식간에 낭비되는 것입니다.

MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

Sat, 18 Jul 2026 03:43:12 +0800

MEMS 건조 과정에서 발생하는 램프 파손 문제에 대해 이야기해 보겠습니다.
고부하가 요구되는 MEMS 생산 라인을 운영할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다.
문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 텅스텐 입자들이 센서 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 한 번만 파손되어도 전체 제품이 버려지게 됩니다.
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 많은 노력을 기울여 왔습니다.

에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

Wed, 15 Jul 2026 09:56:33 +0800

열을 낭비하지 마세요: 왜 금으로 만든 반사체를 사용하는가?

솔직히 말해서, 전기 요금을 내고도 그 에너지가 그냥 방 안의 벽에 낭비된다는 것은 정말 답답한 일입니다. 웨이퍼를 처리할 때, 기판에 도달하지 않는 모든 에너지는 마치 공중으로 사라지는 돈과 같습니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용하기로 했습니다. 듣기에는 복잡해 보일 수 있지만, 그 원리는 꽤 간단합니다. 우리는 소자에서 나오는 모든 열이 정확히 웨이퍼 위에 도달하도록 하고 싶습니다. 왜 금인가? 대부분의 사람들은 알루미늄을 사용하지만, 알루미늄은 적외선 에너지를 흡수하는 성질이 있어서 문제가 됩니다. 금은 다릅니다. 금은 적외선을 반사하는 데 가장 효과적인 재료 중 하나입니다. 하우징에 얇은 금 층을 입힘으로써 열의 누수를 막을 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼에 더 집중된 열이 전달됩니다. 그러니까 전력 공급 장치를 높은 수준으로 설정할 필요가 없습니다. 단점: 열과 압력 문제는, 에너지를 너무 집중시키면 온도가 급격히 상승한다는 것입니다. 좋은 점은 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 데 걸리는 시간이 줄어든다는 것입니다. 하지만 냉각 시스템을 잘 관리해야 합니다. 만약 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않아 웨이퍼 주변의 열을 제거할 수 없다면, 문제가 생길 수 있습니다. 하우징이 변형되거나 밀봉이 제대로 되지 않아 결국 고장날 수도 있습니다. 청결을 유지하기 이 반사체들은 간편하게 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 하지만 일단 설치된 후에는 조심스럽게 다루어야 합니다. 금으로 된 표면은 매우 민감합니다. 지문이나 기름 자국만으로도 웨이퍼에 ‘차가운 부분’이 생길 수 있습니다. 이로 인해 웨이퍼의 균일성이 깨지고 전체 제품의 품질이 저하됩니다. 팁: 항상 먼지가 없는 장갑을 사용하세요. 청소해야 한다면 이소프로필 알코올을 사용하세요. 귀찮게 들릴 수 있지만, 이는 매우 중요합니다. 반사체가 조금만 더러워져도 시스템의 열 출력이 15%나 감소하는 경우도 있었습니다. 반사체를 항상 깨끗하게 유지하면 시스템이 훨씬 더 잘 작동합니다.

웨이퍼용 솔더 마스크 건조

Mon, 29 Jun 2026 06:48:35 +0800

제조 현장에서는 솔더 마스크를 건조시키는 과정이 단순한 정지 시간이 아니라, 오히려 중요한 공정 단계입니다. 만약 건조 과정에 문제가 생기면 포토레지스트의 형태가 변하고, 리소그래피 공정에도 문제가 생깁니다. 우리는 이러한 상황을 고려하여 해당 시스템을 설계했습니다.

웨이퍼 건조용 적외선 히터

Sat, 27 Jun 2026 04:39:56 +0800

제조 공정에서, 클린룸에서 나온 웨이퍼는 단순히 “습한” 상태가 아닙니다. 그건 문제가 되는 요소입니다. 남아있는 수분은 나중에 마이크로 브리지나 패턴의 변형과 같은 문제를 일으킬 수 있습니다. 바로 포토레지스트의 형상을 유지하려는 순간에 말입니다.

웨이퍼용 중파 적외선 히터

Thu, 18 Jun 2026 04:08:13 +0800

리소그래피 공정에서의 소프트 베이킹은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이 과정을 통해 용매의 성분이 고정되고, CD의 형태가 결정되며, 하루 종일 유지될 선 가장자리의 거칠기도 정해집니다. 만약 히팅 플레이트의 온도가 ±2°C만큼 변동하더라도, 처리 결과는 급격히 악화됩니다. 그로 인해 불량 칩들이 쌓이게 됩니다. 저희는 이러한 변동성을 없애기 위해 웨이퍼를 처리할 때 사용하는 중파 적외선 히터를 개발했습니다.

웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800

웨이퍼와 히터 간 간격은 현장에서는 단순한 부차적인 내용이 아니라 무시할 수 없는 공정 파라미터다. 이 거리가 변동하면 열 균일도가 무너진다. 소프트 베이크와 하드 베이크 프로파일이 흐트러지고 치수 제어(CD control)가 불안정해진다. 재작업이 증가한다.

웨이퍼 건조로 타이머

Wed, 03 Jun 2026 12:14:39 +0800

Role

현장에서는 베이크 윈도우 미스나 건조 시간 변동을 문서상의 문제로 치부할 수 없습니다. 불량으로 처리합니다.
포토레지스트 소프트 베이크 및 하드 베이크 시간은 CD 제어와 접착을 초기부터 정확히 설정합니다. 패키징 공정에서는 잔류 수분이 몰딩 및 리플로우 후 박리 현상으로 나타납니다.
오븐 타이머는 단순한 스톱워치가 아닙니다. 공정을 견고하게 유지하는 기준점 역할을 해야 합니다.

웨이퍼용 정밀 적외선 센서

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

라인에서 웨이퍼는 극히 제한된 열 예산으로 베이크 스테이션에 도달한다. 소프트 베이크는 포토레지스트 프로파일을 설정하고, 하드 베이크는 패턴 충실도를 고정한다. 몇십 분의 1도 단위의 온도 드리프트, 눈에 보이지 않는 핫스팟이 생기면 CD가 흔들리기 시작한다. 펠리클 응력이 변하고, 결함이 검사망을 통과한다. 다음날 아침 수율 리뷰에서는 온도 불균일성 문제가 직접 지적된다.
이 연쇄 반응을 근본에서 차단하기 위해 웨이퍼 표면 온도를 직접 현장(in situ)에서 읽는 정밀 IR 센서를 개발했다. 이 센서는 리소그래피 베이크 단계에 요구되는 해상도와 반복성을 갖추고 있다. 챔버 벽에서 추정하지 않고, 히터만 보고 레지스트를 보지 않는 열전대에서 보간하지 않는다. 순수하고 안정적인 신호를 사이클마다 신뢰할 수 있다.