http://quartz-ir-heat-pro.com/ko/tags/%EC%95%88%EC%A0%84/ Recent content in 안전 on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="웨이퍼 가열을 위한 안전 거리"></p> <p>웨이퍼와 히터 간 간격은 현장에서는 단순한 부차적인 내용이 아니라 무시할 수 없는 공정 파라미터다. 이 거리가 변동하면 열 균일도가 무너진다. 소프트 베이크와 하드 베이크 프로파일이 흐트러지고 치수 제어(CD control)가 불안정해진다. 재작업이 증가한다.</p>