센서 on Pro Quartz Infrared Heating

스마트 센서 포장 적외선

Tue, 28 Jul 2026 04:57:07 +0800

왜 센서 포장에 강제 공기 순환 방식 대신 적외선을 사용하는가?
스마트 센서 처리를 하는 사람이라면, 가장 큰 문제가 바로 기다리는 시간이라는 것을 알고 있을 것입니다. 특히, 부품이 충분히 뜨거워질 때까지 기다려야 합니다.
오랫동안 우리는 열공기를 사용해 왔습니다. 하지만 강제 공기 순환 방식은 비효율적입니다. 먼저 공기를 가열해야 하고, 그 다음에야 챔버의 온도가 올라갑니다. 마치 헤어드라이어로 거실을 따뜻하게 하려는 것과 같습니다.
적외선의 경우는 다릅니다. 중간 단계가 생략되어 에너지가 직접 램프에서 부품으로 전달됩니다.
정말 빠릅니다.
열공기 오븐을 사용할 때는 엄청난 열적 저항에 직면하게 됩니다. 제품의 양이나 형태를 변경하면, 챔버가 안정화될 때까지 한 시간 가량 기다려야 합니다.
반면 적외선을 사용하면 램프가 즉시 목표물에 열을 전달합니다. 이는 경화 및 건조 과정에서 매우 유용합니다. 열이 재료 속으로 깊이 침투하기 때문에 전체적인 가열이 가능합니다. 이렇게 하면 가열 시간을 수분에서 몇 초로 줄일 수 있습니다.
게다가 공간도 절약됩니다. 거대한 송풍기나 두꺼운 절연 상자 없이도 됩니다. 대신 적외선 발생기를 컨베이어 라인 위에 설치하기만 하면 됩니다. 이렇게 하면 열공기 오븐에서는 불가능한 ‘구역별 가열’이 가능합니다. 시작時에는 강한 열을 가한 다음, 부품이 이동함에 따라 점차 열의 세기를 줄일 수 있습니다.
하지만 모든 것이 순조로운 것은 아닙니다. 적외선에도 단점이 있습니다. 열 밀도가 너무 높아서 상황이 급격히 악화될 수 있습니다. 벨트의 속도가 조금이라도 변동하면 온도가 너무 높아져 포장재가 손상될 수 있습니다. 따라서 PID 제어와 센서를 정확하게 조절해야 합니다.
또한 냉각 문제도 있습니다. 만약 시스템이 부품에서 반사된 열을 처리할 수 없다면, 전자 부품들이 손상될 수 있습니다.
그래도, 더 많은 양의 제품을 처리해야 하는 경우에는 적외선이 최선의 선택입니다. 이 방식은 병목 현상을 해결하고 모든 것을 원활하게 작동시킬 수 있습니다.

웨이퍼 공정용 온도 센서

Fri, 24 Jul 2026 11:34:49 +0800

더 이상 가열 요소가 생산성을 해치도록 내버려 두지 마세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면 그 고통을 잘 알 것입니다. 아주 작은 먼지 한 조각이나 가스가 새어 나오기만 해도 전체 제품이 오염되어 버립니다. 정말 짜증나는 일이죠. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 이런 상황에 적합하지 않습니다. 바로 안정적으로 작동해야 할 순간에 오히려 파손되거나 휘발성 유기화합물(VOCs)을 방출합니다.

MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

Sat, 18 Jul 2026 03:43:12 +0800

MEMS 건조 과정에서 발생하는 램프 파손 문제에 대해 이야기해 보겠습니다.
고부하가 요구되는 MEMS 생산 라인을 운영할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다.
문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 텅스텐 입자들이 센서 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 한 번만 파손되어도 전체 제품이 버려지게 됩니다.
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 많은 노력을 기울여 왔습니다.

수소 센서 제작용 히터

Mon, 13 Jul 2026 14:34:48 +0800

반응성 화학물질을 다룰 때의 온도 조절 및 안전 유지 방법
수소 센서를 제작할 때는 온도 조절이 매우 중요합니다. 하지만 문제는, 이러한 작업이 보통 가연성 세정제들과 함께 이루어진다는 점입니다. 그런 환경에서는 일반적인 적외선 램프가 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 규소관에 작은 스파크나 금이 생기기만 해도 심각한 문제가 발생할 수 있습니다.

웨이퍼용 정밀 적외선 센서

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

라인에서 웨이퍼는 극히 제한된 열 예산으로 베이크 스테이션에 도달한다. 소프트 베이크는 포토레지스트 프로파일을 설정하고, 하드 베이크는 패턴 충실도를 고정한다. 몇십 분의 1도 단위의 온도 드리프트, 눈에 보이지 않는 핫스팟이 생기면 CD가 흔들리기 시작한다. 펠리클 응력이 변하고, 결함이 검사망을 통과한다. 다음날 아침 수율 리뷰에서는 온도 불균일성 문제가 직접 지적된다.
이 연쇄 반응을 근본에서 차단하기 위해 웨이퍼 표면 온도를 직접 현장(in situ)에서 읽는 정밀 IR 센서를 개발했다. 이 센서는 리소그래피 베이크 단계에 요구되는 해상도와 반복성을 갖추고 있다. 챔버 벽에서 추정하지 않고, 히터만 보고 레지스트를 보지 않는 열전대에서 보간하지 않는다. 순수하고 안정적인 신호를 사이클마다 신뢰할 수 있다.