http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/tags/ir-%E3%82%A4%E3%83%B3%E3%83%99%E3%82%B9%E3%82%BF%E3%83%BC%E3%83%AA%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B7%E3%83%A7%E3%83%B3%E3%82%BA/ Recent content in IR インベスターリレーションズ on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ウェーハ用高精度赤外線センサー"></p> <p>ライン上で、ウェハーはごくわずかな熱予算でベークステーションに到達する。ソフトベークはフォトレジストのプロファイルを設定し、ハードベークはパターンの忠実性を固定する。数十分の一度の温度変動、目に見えないホットスポットがあると、CD（クリティカルディメンション）がばらつき始める。ペリクルの応力が変化し、欠陥が検査をすり抜ける。そして翌朝、歩留まりレビューで温度の不均一性が直接指摘される。</p>