http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/tags/ic/ Recent content in IC on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 05:22:12 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ Sun, 28 Jun 2026 05:22:12 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="IC用コンパクト型赤外線ドライヤー"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、わずか半度の温度変動だけでも、ウェハの寸法精度に影響を与え、<a href="https://henruite.com">結果</a>としてワッファー全体が廃棄されることになります。必要なのは、感覚的に「十分に熱くなっている」と思える程度の温度ではなく、毎回一定の条件で加熱できる温度です。</p> <p><strong>私たちが開発したもの、そしてその意義</strong> このコンパクトな赤外線乾燥装置には、中波NIRエミッターや石英ベースの熱供給システムが搭載されており、ウェハ全体において±0.1℃の温度均一性を保つことができます。ループ制御により温度の再現性が高く、柔らかい加熱や強い加熱も所定の範囲内で行われます。</p>