真空チャンバー用赤外線ヒーター

Mon, 27 Jul 2026 04:07:55 +0800

もう、真空チャンバーが爆発することを心配する必要はありません。
正直言って、可燃性の清掃剤が入った真空チャンバーを使うのは危険です。もし通常の赤外線ランプを使っているなら、それはまるで火遊びのようなものです。わずかな火花や接続不良だけで、大惨事につながります。

真空対応赤外線ヒーター

Fri, 10 Jul 2026 12:50:38 +0800

真空赤外線加熱を用いて半導体製造プロセスをより環境に優しくする
もし本当に半導体製造工場でカーボンニュートラルを実現したいのであれば、熱管理が重要になります。従来の抵抗加熱方式は、エネルギーの無駄遣いが激しく、ウェハを加熱するのに時間がかかります。また、エネルギーがあちこちに漏れ出してしまいます。

そこで、真空環境に適した赤外線ヒーターが使われます。全体の真空チャンバーを加熱しようとする代わりに、このヒーターは短波放射をウェハに直接当てるのです。これにより、効率的に加熱が行えます。