http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/tags/%E4%BF%9D%E6%9C%89%E8%80%85/ Recent content in 保有者 on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 03:41:34 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/ceramic-lamp-holder-for-fab-heater/ Sun, 07 Jun 2026 03:41:34 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/ceramic-lamp-holder-for-fab-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ファブヒーター用のセラミックランプホルダー"></p> <p>ファブフロアでは、事態がどれほど速く悪化するかを誰もが知っています。フォトレジストのソフトベーク工程において0.5°Cの温度ドリフトが発生するだけで、ライン幅が変動します。不安定な乾燥ランプはマイクロブリッジングの原因になります。熱の再現性は「あると便利」なものではなく、プロセスそのものです。<br> 当社はファブ用ヒーター向けにセラミックランプホルダーを開発し、赤外線加熱を重要箇所で確実に固定しています：ウエハ乾燥、フォトレジストのプリベークおよびハードベーク硬化工程において。</p>