http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/tags/%E3%83%8F%E3%83%AD%E3%82%B2%E3%83%B3/ Recent content in ハロゲン on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 23:30:23 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Mon, 22 Jun 2026 23:30:23 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="RTPシステム用ハロゲンランプ"></p> <p>製造現場では、熱による影響は理論上のものではなく、実際には線幅の変動や歩留まりの低下として現れます。RTPでは、ランプが実際に操作するパラメータです。もし温度分布が変わってしまうと、フォトレジストの性質も崩れてしまい、結果として無駄に熱エネルギーが消費されてしまいます。</p>