センサー on Pro Quartz Infrared Heating

スマートセンサーパッケージング・赤外線

Tue, 28 Jul 2026 04:57:07 +0800

なぜセンサーパッケージングにおいて強制送風ではなく赤外線を利用するのか？スマートセンサーの処理に携わっている人なら、最も厄介なのは待つことだと知っているでしょう。具体的には、部品が十分に熱くなるまで待つ必要があります。長年にわたり、私たちは熱風を利用してきました。しかし、強制送風は効率が悪いです。まず空気を加熱し、その後チャンバー全体を加熱しなければならず、そうして初めて部品が実際に温まり始めます。まるで、ドライヤーでリビングルームを温めようとするようなものです。一方、赤外線は違います。中間段階を省くことができ、エネルギーは直接ランプから基板へと届きます。 とても速いのです。本当に速いです。 熱風オーブンを使う場合、大きな熱慣性に対処しなければなりません。処理する部品の量や形状を変えると、チャンバーが安定するまで1時間以上待たなければなりません。しかし、赤外線を使えば、ランプがすぐに目標物に当たります。硬化や乾燥の過程において、これは非常に便利です。なぜなら、熱が材料の内部まで届くからです。つまり、準備時間を数分から数秒に短縮できるのです。さらに、スペースも節約できます。巨大な送風ファンや重たい断熱箱は不要になります。代わりに、コンベアラインの上に赤外線発信器を設置するだけです。これにより、熱風オーブンでは不可能な「ゾーン別加熱」が可能になります。最初は高い強度で加熱し、部品が進むにつれて徐々に弱めていくことができます。しかし、全てがうまくいくわけではありません。赤外線にも問題点があります。熱密度が高いため、状況がすぐに悪化する可能性があります。ベルトの速度が少しでも変動すると、温度が上がりすぎてパッケージ用樹脂が焼けてしまう危険があります。そのため、PID制御やセンサーを正確に管理する必要があります。また、冷却も忘れてはいけません。もしシステムが部品から放散される放射熱に対応できなければ、電子機器が損傷する可能性があります。それでも、大量の生産を行う場合には、赤外線が最適な手段です。これによりボトルネックが解消され、すべてがスムーズに進みます。

ウェーハ加工ツール用温度センサー

Fri, 24 Jul 2026 11:34:48 +0800

ヒーター要素が製品の品質を損なうのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームで作業している場合、その恐怖をご存知でしょう。わずかなほこりやガスの発生だけで、作業した製品全体が無駄になってしまいます。本当に厄介です。一般的なヒーター要素は、安定して動作する必要がある時に、むしろ破損したり、揮発性有機化合物を放出したりしてしまいます。

MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

Sat, 18 Jul 2026 03:43:12 +0800

MEMS乾燥工程におけるランプの破損について話しましょう。
もし、高負荷のMEMS製造ラインを運用しているなら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。
問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンの残渣がセンサーワーフ上に降り注ぎます。一度破裂すると、そのロット全体が無駄になってしまいます。
私たちは、このような事態を防ぐ方法を長い間研究してきました。

水素センサー製造用ヒーター

Mon, 13 Jul 2026 14:34:48 +0800

揮発性化学物質を扱う際には、環境を冷却し、安全を保つことが不可欠です。水素センサーを製造する際には、温度制御が非常に重要です。しかし問題は、通常、この作業が可燃性の洗浄剤のそばで行われるという点です。そうした環境では、一般的な赤外線ライトは単なる道具ではなく、むしろ危険要素となります。石英管にわずかな火花やひびが入っただけで、深刻な問題が発生します。

ウェーハ用高精度赤外線センサー

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

ライン上で、ウェハーはごくわずかな熱予算でベークステーションに到達する。ソフトベークはフォトレジストのプロファイルを設定し、ハードベークはパターンの忠実性を固定する。数十分の一度の温度変動、目に見えないホットスポットがあると、CD（クリティカルディメンション）がばらつき始める。ペリクルの応力が変化し、欠陥が検査をすり抜ける。そして翌朝、歩留まりレビューで温度の不均一性が直接指摘される。