http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/tags/%E3%82%AA%E3%83%BC%E3%83%96%E3%83%B3/ Recent content in オーブン on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ja Sun, 19 Jul 2026 15:24:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Sun, 19 Jul 2026 15:24:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター"></p> <p>なぜクリーンルームで赤外線加熱方式を採用したのか<br> <a href="https://henruite.com">半導体工場</a>で働くとき、「清潔さ」は単なる目標ではなく、全てにおいて最も重要な要素です。わずかな汚れでも、大量の製品を台無しにしてしまいます。長年にわたり、対流式のオーブンが使われてきました。しかし正直なところ、部屋中に熱風を送り込むのは危険な方法です。実際、空気や壁を温めるために多くの<a href="https://o-yate.com">電力</a>が消費されてしまいます。</p> <p>そのため、私たちは赤外線ヒーターを採用しました。部屋全体を温める代わりに、ウェハー自体を<a href="https://o-yate.net">直接加熱</a>するのです。<br> <strong>直接加熱の利点</strong><br> 寒い日に太陽の下に立つようなものです。空気の温度が80度である必要はありません。放射熱が直接ウェハーに当たるのです。赤外線も同じ原理で機能します。<br> 空気を循環させないため、クリーンルーム内の汚染源を排除できます。また、効率も格段に高いです。巨大な金属箱を温めるためのエネルギーを使わず、エネルギーを正確に必要な場所に送ることができます。これにより、過酷な無鉛・環境に優しい規格を満たすことができます。</p> http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/timer-for-wafer-drying-oven/ Wed, 03 Jun 2026 12:14:39 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/timer-for-wafer-drying-oven/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ乾燥炉用タイマー"></p> <h1 id="fabフロアではベイク時間の逸失や乾燥時間のズレを書類上の問題とは呼ばずスクラップと呼ぶ">Fabフロアでは、ベイク時間の逸失や乾燥時間のズレを「書類上の問題」とは呼ばず、スクラップと呼ぶ。</h1> <p>フォトレジストのソフトベイクおよびハードベイク時間は、CD制御と接着性を工程の初期段階で<a href="https://henruite.com">確定</a>させる。パッケージング工程では、残留水分が後工程のモールドやリフロー後に剥離として現れる。</p> <p>オーブンのタイマーは単なるストップウォッチではなく、プロセスの<a href="https://goldisgood.com">基準</a>を担わなければならない。</p> <h2 id="技術的に重要な点">技術的に重要な点</h2> <p>このウェハ乾燥用オーブンタイマーは、ベイクおよび乾燥サイクル全体で±0.1%の設定精度による再現性のあるタイミングを提供し、電源の瞬断時にも不揮発性メモリで時間を保持する。ドライ接点および4-20 mA入力を介してオーブンPLCと統合でき、時間、温度、アラームをMESに記録して正確なトレーサビリティを確保する。</p>