http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/tags/%E3%82%A2%E3%83%8B%E3%83%BC%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in アニーリング on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 03:56:11 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/semiconductor-annealing-infrared-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 03:56:11 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ja/posts/semiconductor-annealing-infrared-lamp/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="半導体アニーリング用赤外線ランプ"></p> <p><a href="https://o-yate.com">製造現場</a>では、ランプが故障してもスケジューラーは一時停止しません。ソフトベイク、ハードベイク、露光後のベイクといった工程は、一定の温度条件の下で行われます。もし加熱源に<a href="https://henruite.com">問題</a>が生じたり、機能しなくなったりすると、ウェーハの品質に悪影響が出ます。フォトレジストの特性が変わったり、重要な寸法がずれたりして、結局は廃棄処分になってしまいます。</p> <h3 id="技術的に重要な点">技術的に重要な点</h3> <p>私たちが開発した半導体用アニーリング用赤外線ランプは、石英製のケース内に短波長の赤外線エミッターを搭載した構造です。迅速な応答性と安定したスペクトル出力が求められる場合に最適です。目標としては、ウェーハ全体の温度均一性を±0.1°C<a href="https://o-yate.net">以内</a>に保つことです。これは、正確に調整されたランプアレイと、設定値を維持しながらオーバーシュートを防ぐループ制御によって実現されています。</p>