Termostato a coppie termiche per riscaldatore a semiconduttori

Tue, 30 Jun 2026 04:53:24 +0800

Nel ambiente di produzione, non è necessario alcun insegnamento per comprendere il concetto di “deriva termica”. Un processo di riscaldamento che dovrebbe avvenire a 110°C può invece arrivare a 112°C; in tal caso, le dimensioni critiche del componente cambiano di pochi nanometri prima che il processo si completi. Questo non è solo una teoria: si tratta di effetti concreti che influenzano negativamente i risultati della produzione.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico Utilizziamo un termocoppio di tipo K posizionato direttamente all’interno del blocco riscaldante del semiconduttore, in modo da poter misurare la temperatura della superficie del wafer stesso, e non soltanto quella della superficie esterna del riscaldatore. Questo permette un controllo preciso, con una tolleranza di ±0,1°C su tutto il substrato. Il sensore è inserito in un involucro metallico di alta purezza o in vetro di quartzo, con connettori ermetici che evitano la formazione di particelle indesiderate.

Termopar on Pro Quartz Infrared Heating

Termostato a coppie termiche per riscaldatore a semiconduttori