Lampa a infrarossi per l annealing dei semiconduttori

Wed, 24 Jun 2026 03:56:11 +0800

Nella sala di produzione, il programmatore non interrompe il processo quando una lampada smette di funzionare. Le fasi di trattamento termico – cottura delicata, cottura intensiva e cottura successiva all’esposizione – avvengono entro un determinato range di temperatura. Se la sorgente di calore non funziona correttamente, tutto va a rotoli: il profilo del fotorest viene alterato, le dimensioni critiche dei componenti cambiano, e i prodotti finiti diventano invendibili.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
La lampada ad infrarossi utilizzata per il trattamento termico dei semiconduttori è costituita da un emettitore a onde corte racchiuso in un involucro di quarzo. Questa soluzione è ideale quando si necessita di una risposta rapida e di un output spettrale stabile, ciclo dopo ciclo. L’obiettivo è raggiungere una uniformità termica pari a ±0,1°C a livello del wafer; ciò viene ottenuto grazie a un array di lampade calibrate e a un sistema di controllo della temperatura che mantiene il valore desiderato senza alcun scostamento.

Tempra on Pro Quartz Infrared Heating

Lampa a infrarossi per l annealing dei semiconduttori