Lampada a halogeno per sistema RTP

Mon, 22 Jun 2026 23:30:23 +0800

Nelle linee di produzione, le fluttuazioni termiche non sono un concetto teorico: si manifestano come variazioni nella larghezza delle linee tracciate e come riduzione della resa del processo produttivo. Nell’RTP, la lampada rappresenta l’elemento chiave su cui si agisce per regolare le condizioni di lavoro. Se il profilo termico cambia, anche il profilo del fotoresist viene compromesso; in questo caso, si spreca energia inutilmente.

Ciò che è importante dal punto di vista tecnico
Per l’RTP vengono utilizzate lampade ad emissione infrarossa a breve lunghezza d’onda, in modo che il silicio possa assorbire il calore direttamente e rapidamente. Questo permette di ottenere tempi di rampa inferiori a un secondo, senza superare i limiti consentiti. La uniformità della temperatura all’interno della zona attiva rimane entro ±0,1°C: proprio questo tipo di controllo garantisce prestazioni costanti. Il guscio di quarzo e la geometria del filamento sono progettati per mantenere una luminosità costante per oltre 5.000 ore, con variazioni di intensità inferior al 5%. È necessario adattare la luminosità alle caratteristiche termiche del processo: velocità quando è necessario un trattamento termico rapido, controllo preciso quando si effettuano procedure di cottura più lente.

Alogeni on Pro Quartz Infrared Heating

Lampada a halogeno per sistema RTP