http://quartz-ir-heat-pro.com/id/tags/presisi/ Recent content in Presisi on Pro Quartz Infrared Heating Hugo id Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/id/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/id/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Sensor IR presisi untuk wafer"></p> <p>Di jalur produksi, wafer mencapai stasiun pemanggangan dengan anggaran termal yang sangat tipis. Soft bake menentukan profil photoresist. Hard bake mengunci ketepatan pola. Perubahan suhu beberapa persepuluh derajat, titik panas yang tidak terlihat, dan ukuran CD mulai menyimpang. Tegangan pelikel bergeser. Cacat lolos dari inspeksi. Lalu keesokan paginya, tinjauan hasil langsung menunjuk pada ketidakseragaman suhu.</p> <p>Kami mengembangkan sensor IR presisi untuk wafer guna memutus rantai reaksi tersebut dari sumbernya. Sensor ini membaca suhu permukaan wafer secara langsung, in situ, dengan resolusi dan repeatabilitas yang dibutuhkan oleh langkah pemanggangan litografi. Tidak perlu menebak dari dinding ruang tungku. Tidak perlu ekstrapolasi dari thermocouple yang hanya melihat pemanas, bukan resist. Hanya sinyal yang bersih dan stabil yang dapat diandalkan siklus demi siklus.</p>