Lampu inframerah untuk proses annealing pada semikonduktor

Wed, 24 Jun 2026 03:56:11 +0800

Di lantai produksi, sistem pengatur jadwal tidak akan berhenti bekerja ketika lampu mengalami kerusakan. Proses pemanasan—baik pemanasan lembut maupun pemanasan keras—dilakukan sesuai dengan batas suhu yang telah ditentukan. Jika sumber panasnya bermasalah atau tidak berfungsi, maka proses produksi akan terganggu: profil fotoresist berubah, dimensi kritisnya berubah, dan hasil produksinya menjadi tidak memuaskan.

Apa yang Penting Secara Teknis
Lampu inframerah yang digunakan untuk proses pemanasan semikonduktor ini dirancang menggunakan emiter inframerah berpanjang gelombang pendek yang berada di dalam kapsul kuarsa. Pilihan ini cocok digunakan ketika diperlukan respons yang cepat dan output spektral yang stabil, dari siklus ke siklus. Tujuannya adalah mencapai keseragaman suhu pada tingkat wafer sebesar ±0,1°C. Hal ini dapat dicapai melalui penggunaan array lampu yang telah dikalibrasi dengan baik, serta sistem kontrol suhu yang efektif sehingga suhu tetap stabil tanpa melebihi batas yang ditentukan.

Pemanasan Kembali on Pro Quartz Infrared Heating

Lampu inframerah untuk proses annealing pada semikonduktor