http://quartz-ir-heat-pro.com/id/tags/keselamatan/ Recent content in Keselamatan on Pro Quartz Infrared Heating Hugo id Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/id/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/id/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Jarak aman untuk pemanasan wafer"></p> <p>Di lantai pabrik, celah antara wafer dan heater bukan sekadar catatan kaki—itu adalah parameter proses yang tidak bisa diabaikan. Jika jarak tersebut berubah, keseragaman termal akan terganggu. Profil soft bake dan hard bake menjadi tidak konsisten. Kontrol CD melorot. Tingkat perbaikan ulang meningkat.</p> <h2 id="apa-yang-sebenarnya-penting-secara-teknis">Apa yang sebenarnya penting secara teknis</h2> <p>Kami menetapkan jarak pengaman yang dapat diulangi yang mengunci keseragaman termal pada level wafer sebesar ±0,1°C. Sistem ini mengandalkan elemen infra merah gelombang pendek untuk respons yang cepat dan stabil, serta geometri zona panas dirancang untuk menjaga agar partikel tidak terhasilkan sama sekali, bahkan di cleanroom Kelas 1–100. Repetabilitas suhu terjaga di antara lot, shift, dan peralatan, sehingga anggaran termal tetap berada di dalam toleransi tumpukan litografi.</p>