IR on Pro Quartz Infrared Heating

Ujung kap ceramik untuk pemancar IR

Wed, 22 Jul 2026 04:22:22 +0800

Mengapa Emitter IR Perlu Dilengkapi dengan Penutup yang Lebih Baik
Jika Anda pernah bekerja di pabrik semikonduktor, Anda pasti tahu bahwa pengontrolan suhu yang akurat sangat penting agar segala sesuatu berfungsi dengan baik. Kita semua bergantung pada emitter IR untuk menjaga suhu wafer tetap stabil. Namun, ada masalah yang sering muncul: bagian di mana elemen pemanas bersentuhan dengan kabel listrik. Itulah titik di mana sistem bisa gagal berfungsi.

Itulah sebabnya kita menggunakan penutup berbahan keramik. Penutup ini berfungsi sebagai “perisai termal”. Ia tidak hanya berfungsi untuk menahan komponen-komponen tersebut, tetapi juga mencegah panas merambat ke kabel listrik dan menyebabkan kerusakan.

Reflektor aluminium untuk lampu IR

Sun, 12 Jul 2026 09:31:45 +0800

Menghentikan Debu: Cara Memastikan Penggunaan Pemanas IR yang Efektif di Ruang Bersih Kelas 100
Jika Anda pernah mencoba menggunakan pemanas IR biasa di ruang bersih kelas 100, Anda pasti tahu betapa sulitnya hal tersebut. Begitu pemanas dihidupkan, wafer atau lensa yang ada di sana akan rusak. Mengapa? Karena sebagian besar pemanas sebenarnya merupakan sumber debu. Debu-debu tersebut dapat merusak produk yang ada di sana.

Kami telah menemukan cara untuk mengatasi masalah ini. Rahasianya cukup sederhana: menggunakan kuarsa berkualitas tinggi dan aluminium yang telah diproses dengan baik.

Sensor IR presisi untuk wafer

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

Di jalur produksi, wafer mencapai stasiun pemanggangan dengan anggaran termal yang sangat tipis. Soft bake menentukan profil photoresist. Hard bake mengunci ketepatan pola. Perubahan suhu beberapa persepuluh derajat, titik panas yang tidak terlihat, dan ukuran CD mulai menyimpang. Tegangan pelikel bergeser. Cacat lolos dari inspeksi. Lalu keesokan paginya, tinjauan hasil langsung menunjuk pada ketidakseragaman suhu.

Kami mengembangkan sensor IR presisi untuk wafer guna memutus rantai reaksi tersebut dari sumbernya. Sensor ini membaca suhu permukaan wafer secara langsung, in situ, dengan resolusi dan repeatabilitas yang dibutuhkan oleh langkah pemanggangan litografi. Tidak perlu menebak dari dinding ruang tungku. Tidak perlu ekstrapolasi dari thermocouple yang hanya melihat pemanas, bukan resist. Hanya sinyal yang bersih dan stabil yang dapat diandalkan siklus demi siklus.