http://quartz-ir-heat-pro.com/hi/tags/%E0%A4%AA%E0%A5%8D%E0%A4%B0%E0%A4%BF%E0%A4%B8%E0%A4%BF%E0%A4%9C%E0%A4%A8/ Recent content in प्रिसिजन on Pro Quartz Infrared Heating Hugo hi Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/hi/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/hi/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="वाफर के लिए प्रिसिजन IR सेंसर"></p> <p>लाइन पर, वेफर एक बहुत ही संकीर्ण थर्मल बजट के साथ बेक स्टेशन से टकराता है। सॉफ्ट बेक फोटोरेसिस्ट प्रोफाइल सेट करता है। हार्ड बेक पैटर्न की सटीकता को लॉक करता है। कुछ दसवें डिग्री का ड्रिफ्ट, एक ऐसा हॉटस्पॉट जिसे आप देख नहीं सकते, और आपके CD विचलित होने लगते हैं। पेलिकल तनाव शिफ्ट होता है। दोष निरीक्षण से बच निकलते हैं। फिर अगली सुबह, यील्ड समीक्षा सीधे तापमान असमानता की ओर इशारा करती है।<br> हमने वेफर के लिए एक प्रिसिजन IR सेंसर बनाया है जो इस श्रृंखला प्रतिक्रिया को स्रोत पर ही रोक देता है। यह वेफर सतह के तापमान को सीधे, इन सिटू, उस रिज़ॉल्यूशन और पुनरावृत्ति के साथ पढ़ता है जिसकी लिथोग्राफी बेक स्टेप्स को आवश्यकता होती है। चैंबर की दीवारों से कोई अनुमान नहीं। थर्मोकपल्स से कोई एक्सट्रापोलेशन नहीं जो हीटर को देखते हैं, न कि रिसिस्ट को। सिर्फ एक साफ, स्थिर सिग्नल जिस पर आप चक्र दर चक्र भरोसा कर सकते हैं।</p>