חיישן IR מדויק לוופל

על הקו, ה-wafer פוגע בתחנת האפייה עם תקציב תרמי דקיק מאוד. אפייה רכה מגדירה את פרופיל הפוטורזיסט. אפייה קשה מנעילה את נאמנות התבנית. כמה עשיריות של...