http://quartz-ir-heat-pro.com/he/tags/%D7%93%D7%99%D7%95%D7%A7/ Recent content in דיוק on Pro Quartz Infrared Heating Hugo he Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/he/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/he/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="חיישן IR מדויק לוופל"></p> <p>על הקו, ה-wafer פוגע בתחנת האפייה עם תקציב תרמי דקיק מאוד. אפייה רכה מגדירה את פרופיל הפוטורזיסט. אפייה קשה מנעילה את נאמנות התבנית. כמה עשיריות של מעלה טעות, נקודת חום בלתי נראית, ו-CDs מתחילים לסטות. מתחים ב-pellicle משתנים. פגמים מחליקים מעבר לביקורת. ואז בבוקר למחרת, סקירת התפוקה מצביעה ישירות על חוסר אחידות בטמפרטורה.<br> בנינו חיישן IR מדויק ל-wafer כדי לעצור את שרשרת התגובות הזו במקור. הוא קורא את טמפרטורת פני ה-wafer ישירות, in situ, עם הרזולוציה והחזרות שנדרשות בצעדי אפיית הליתוגרפיה. ללא ניחושים מקירות התא. ללא השלכות מטמפרמטרים שרואים את גוף החימום ולא את הרזיסט. רק אות נקי ויציב שאפשר לסמוך עליו מחזור אחרי מחזור.</p>