http://quartz-ir-heat-pro.com/he/tags/%D7%92%D7%9C/ Recent content in גל on Pro Quartz Infrared Heating Hugo he Thu, 18 Jun 2026 04:08:13 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/he/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Thu, 18 Jun 2026 04:08:13 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/he/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="מחמם אינפרא אדום לגלי בינוניים לשבבים"></p> <p>בחדר הליתוגרפיה, תהליך החימום אינו רק דרך לחימום זמני של החומרים. הוא מאפשר קביעה מדויקת של ריכוז החומרים המומסים, קביעת ערכי ה-CD, וכן קביעת רמת החוסר אחידות בקצוות הקווים – ערכים שישפיעו על התהליך לאורך כל היום. אם טמפרטורת החימום יורדת ב-±2°C, חלה ירידה מהירה באיכות המוצרים. אנו ייצרנו מחמם בגלי אינפרא-אדום לצורך עיבוד הוופרים, כדי להפחית את השינויים האלו.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> מחמם בגלי אינפרא-אדום מחמם את שכבת הפוטורזיסט באופן וולומטרי, ולא רק את השטח שעליו היא נמצאת. כך ניתן להשיג עלייה מהירה בטמפרטורה, עם עיכוב מינימלי. אנו שומרים על אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C בכל שטח הוופר, ועל חזרתיות ברמה של ±0.05°C בין תהליכי עיבוד שונים. המחמם נמצא מאחורי מעטפת קוורץ אטומה – אין סלילים חשופים שעלולים לגרום להפרשי אוויר או להפרשת חלקיקים. גוף המחמם מתאים לשימוש בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, וכל המשטחים שלו מטופלים כך שרמת החלקיקים נשארת קבועה, גם בתהליכי עיבוד 24/7. שליטה בטמפרטורה נעשית על גבי הוופר עצמו, ולא על גבי גוף המחמם.</p>