Maximiser le transfert d énergie radiative dans le traitement des wafers grâce à des réflecteurs IR recouverts d or
Arrêtez de gaspiller votre énergie : pourquoi les réflecteurs recouverts d’or sont vraiment importants Soyez honnêtes : gaspiller de l’énergie lors...
Capteur IR de précision pour wafer
Sur la ligne, la plaquette atteint la station de cuisson avec un budget thermique extrêmement limité. Le soft bake fixe le profil du photo-résist. Le...