Chauffage infrarouge à ondes moyennes pour wafer
Sur le poste de lithographie, ce processus de chauffage n’est pas une simple étape de préchauffage. Il permet de stabiliser la composition des...
Support de lampe en céramique pour chauffage fab
Sur le plancher de production, vous savez à quelle vitesse les choses peuvent déraper. Un écart de 0,5°C lors du « soft bake » du photoresist suffit...
Distance de sécurité pour le chauffage des plaquettes
Sur le plancher de production, l’écart entre la plaquette et le chauffage n’est pas un détail secondaire — c’est un paramètre de procédé...
Minuteur pour four de séchage de plaquettes
Sur le plancher de fabrication, on ne peut pas considérer une fenêtre de cuisson manquée ou un dérèglement du temps de séchage comme un simple...
Lampe de cuisson en atmosphère contrôlée
Sur le plancher de production, les étapes de cuisson douce et cuisson dure ne sont pas simplement des « étapes de chauffage ». Ce sont des équilibres...
Capteur IR de précision pour wafer
Sur la ligne, la plaquette atteint la station de cuisson avec un budget thermique extrêmement limité. Le soft bake fixe le profil du photo-résist. Le...