بیشینهسازی انتقال انرژی تابشی در فرآیند پردازش ویفرها از طریق بازتابندههای مادون قرمز پوشیده شده با طلا
دیگر انرژی خود را هدر ندهید: چرا استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا اهمیت دارد؟ بیایید صادق باشیم: هدر رفتن انرژی در فرآیندهای پردازش ویفر،...
سنسور مادون قرمز دقیق برای ویفر
در خط تولید، ویفر با بودجه حرارتی بسیار محدود به ایستگاه پخت میرسد. پخت نرم شکل پروفایل فوتورزیست را تعیین میکند. پخت سخت وضوح الگو را تثبیت...