http://quartz-ir-heat-pro.com/fa/tags/%D8%AA%D8%B1%D9%85%D9%88%DA%A9%D9%88%D9%BE%D9%84/ Recent content in ترموکوپل on Pro Quartz Infrared Heating Hugo fa Tue, 30 Jun 2026 04:53:24 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/fa/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Tue, 30 Jun 2026 04:53:24 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/fa/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ترموکوپل برای هیتر نیمههادی"></p> <p>در کارخانه تولید، برای درک مفهوم انحرافات حرارتی، نیازی به دوره‌های آموزشی نیست. مثلاً، دمای لازم برای فرآیند گرم‌کردن، ۱۱۰ درجه سانتی‌گراد است؛ اما این دما می‌تواند به ۱۱۲ درجه سانتی‌گراد افزایش یابد. در چنین شرایطی، ابعاد مهم قطعات، در حد چند نانومتر تغییر خواهند کرد. این موضوع یک نظریه نیست؛ بلکه واقعیت است.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد:</strong> ما از ترموکوپل نوع K برای اندازه‌گیری دمای سطح ویفر استفاده می‌کنیم؛ یعنی دمای سطح خود قطعه، نه سطح هیتر. این روش باعث کنترل دقیق دما می‌شود؛ با دقتی حدود ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد. سنسور درون کوارتز با خلوص بالا یا پوشش فلزی تمیز قرار دارد؛ همچنین، از سیستم‌های اتصال بسته برای جلوگیری از تولید ذرات استفاده می‌شود.</p>