http://quartz-ir-heat-pro.com/fa/tags/%D8%A7%DB%8C%D9%85%D9%86%DB%8C/ Recent content in ایمنی on Pro Quartz Infrared Heating Hugo fa Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/fa/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/fa/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="فاصله ایمنی برای گرم کردن ویفر"></p> <h1 id="در-کف-کارخانه-فاصله-بین-ویفر-و-هیتر-یک-یادداشت-حاشیهای-نیستاین-یک-پارامتر-فرآیند-است-که-نمیتوانید-آن-را-نادیده-بگیرید-بگذارید-آن-فاصله-تغییر-کند-و-یکنواختی-حرارتی-از-بین-میرود-پروفیلهای-نرمپخت-و-سختپخت-به-سمت-نادرست-میروند-کنترل-cd-کاهش-مییابد-نیاز-به-بازسازی-افزایش-مییابد">در کف کارخانه، فاصله بین ویفر و هیتر یک یادداشت حاشیه‌ای نیست—این یک پارامتر فرآیند است که نمی‌توانید آن را نادیده بگیرید. بگذارید آن فاصله تغییر کند و یکنواختی حرارتی از بین می‌رود. پروفیل‌های نرم‌پخت و سخت‌پخت به سمت نادرست می‌روند. کنترل CD کاهش می‌یابد. نیاز به بازسازی افزایش می‌یابد.</h1> <h2 id="آنچه-واقعا-از-نظر-فنی-مهم-است">آنچه واقعاً از نظر فنی مهم است</h2> <p>ما یک فاصله ایمنی قابل تکرار تعیین می‌کنیم که یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را به ±0.1°C قفل می‌کند. سیستم بر عناصر مادون قرمز با موج کوتاه تکیه می‌کند تا پاسخ سریع و پایداری داشته باشد و هندسه ناحیه داغ به گونه‌ای طراحی شده است که تولید ذرات را به صفر برساند، حتی در اتاق‌های تمیز کلاس 1 تا 100. تکرارپذیری دما در طی نوبت‌ها، شیفت‌ها و تجهیزات حفظ می‌شود، بنابراین بودجه حرارتی در محدوده تحمل لیتوگرافی باقی می‌ماند.</p>