روش بهتری برای خشک کردن ویفرهای نیمههادی بیایید درباره مشکلات مربوط به خشک کردن و تثبیت ویفرها پس از فرآیند شستشو صحبت کنیم. با توجه به تلاشهای جدید برای استفاده از مواد بدون سرب و رعایت استانداردهای زیستمحیطی، روشهای قدیمی دیگر کافی نیستند. به همین دلیل، از لامپهای مادون قرمز ضدآب استفاده میکنیم؛ این لامپها مواد شیمیایی مضر را از بین میبرند و در عین حال میزان کربن تولید شده در فرآیند خشک کردن را کاهش میدهند. منطق پشت استفاده از لامپهای مادون قرمز فکر کنید به یک فر معمولی؛ این فر برای گرم کردن هوای داخل آن، انرژی زیادی مصرف میکند، در حالی که قطعه مورد نظر هنوز گرم نشده است. این روش، روشی هدردار است. لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها انرژی را مستقیماً به سطح قطعه منتقل میکنند، بدون نیاز به واسطه. از آنجایی که با آب شستشو سروکار داریم، از لامپهای ضدآب استفاده میکنیم؛ در غیر این صورت، رطوبت وارد لامپ میشود، پوسته کوارتز آن ترک میخورد و در نتیجه ممکن است مشکلات الکتریکی پیش بیاید. هیچ کس نمیخواهد چنین اتفاقی رخ دهد. رعایت استانداردهای زیستمحیطی بدون استرس وقتی که هدف ما استفاده از مواد بدون سرب است، آخرین چیزی که میخواهیم، ایجاد آلایندههای جدید است. لامپهای مادون قرمز روشی «خشک» برای خشک کردن ویفرها هستند؛ بنابراین نیازی به استفاده از ترکیبات آلی فرار برای تسریع فرآیند نیست. ما از لامپهای مادون قرمز با موجدهی کوتاه یا متوسط استفاده میکنیم تا دقیقاً به نقاطی که آب و باقیماندهها در آنجا هستند، انرژی ارسال شود. این کار باعث میشود که همه چیز سریعاً تبخیر شود، اما دمای کلی نیز پایین بماند. این موضوع بسیار مهم است؛ زیرا از خراب شدن ویفرها در اثر فشار حرارتی جلوگیری میکند. معایب استفاده از لامپهای مادون قرمز مشکل اینجاست که لامپهای با توان بالا، انرژی زیادی مصرف میکنند؛ اما این انرژی باعث میشود که لامپها بسیار گرم شوند. اگر سیستم تهویه در دستگاه مناسب نباشد، مشکلاتی پیش خواهد آمد؛ بدون فنهای مناسب، گرما در دستگاه انباشته میشود و میتواند باعث خراب شدن قطعات دستگاه یا سنسورها شود. این یک تعادل دشوار است. خبر خوب این است که ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای قدیمی و ناکارآمد شوند؛ با استفاده از این لامپها، زمان گرم شدن دستگاه کاهش مییابد و از هدررفت انرژی نیز جلوگیری میشود. این روش، راهی ساده برای رسیدن به اهداف زیستمحیطی است، بدون اینکه حتی یک ویفر هم از بین برود.