Evatec Evaporator Heizlampe

Wed, 01 Jul 2026 12:23:09 +0800

Auf der Lithografiefläche ist es wichtig zu wissen, wie schnell eine fehlerhafte Trocknungsprozedur auftreten kann. Eine Abweichung von einem halben Grad reicht bereits aus, um die Kontrolle über die kritischen Dimensionen zu verlieren – und dadurch viele Bauteile unbrauchbar zu machen. Die Heizlampen von Evatec sind dafür konzipiert: Sie liefern Infrarotwärme mit einer Präzision von unter einem Millimeter auf der gesamten Wafer-Oberfläche. Dadurch sind die Ergebnisse der Trocknungsprozesse zuverlässig – von Schicht zu Schicht.

Was technisch wichtig ist:
Diese Lampen verwenden kurzwelliges Infrarotlicht, um die Wärmeenergie genau dorthin zu bringen, wo sie benötigt wird. Zudem ermöglichen sie eine schnelle Reaktion sowie eine präzise Steuerung der Wärmeabgabe. Die Präzision von under einem Millimeter sorgt dafür, dass die Temperaturverteilung auf der Wafer-Oberfläche innerhalb enger Toleranzen bleibt. Dadurch bleiben sowohl die sanfte als auch die intensive Trocknungsprozesse konstant. In der Praxis bedeutet das weniger Schwankungen in der Linienbreite, eine geringere Defektdichte sowie einen Prozessablauf, der nicht beeinträchtigt wird. Wir konzipieren die Lampen so, dass ihre Leistung über tausende von Zyklen hinweg stabil bleibt – dadurch erhält man immer wieder ein gleichbleibendes Ergebnis.

Verdampfer on Pro Quartz Infrared Heating

Evatec Evaporator Heizlampe