Infrarotheizer für Vakuumkammern

Mon, 27 Jul 2026 04:07:53 +0800

Hören Sie auf, sich Sorgen darüber zu machen, dass Ihre Vakuumkammern explodieren könnten.
Seien wir ehrlich: Die Verwendung von Vakuumkammern, die mit brennbaren Reinigungsmitteln gefüllt sind, ist stressig. Wenn man eine herkömmliche Infrarotlampe verwendet, spielt man im Grunde mit Feuer. Ein kleiner Funke oder eine lose elektrische Verbindung können dazu führen, dass es zu einer Katastrophe kommt.
Deshalb haben wir unsere IR-Heizgeräte anders konstruiert. Wir sorgen dafür, dass der Heizelement vollständig von den flüchtigen Stoffen umgeben ist.

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Fri, 10 Jul 2026 12:50:38 +0800

Semi-Fabs grüner machen durch Vakuum-Infrarotheizung
Wenn wir tatsächlich eine Kohlenstoffneutralität in den Halbleiterfabriken erreichen wollen, müssen wir über die Heizung sprechen. Die meisten herkömmlichen Widerstandsheizungen sind einfach verschwenderisch – es dauert ewig, bis sie vollständig erhitzt sind, und außerdem entweicht Energie überallhin.

Deshalb verwenden wir vakuumkompatible Infrarotheizer. Anstatt die gesamte Vakuumkammer zu erhitzen – was pure Energieverschwendung wäre – richten diese Heizer ihre kurzwelligen Strahlen direkt auf das Wafer. Das ist eine effektive Methode zur Erwärmung.

Umgang mit Wärme im Vakuum
Im Vakuum gibt es kein Luftmedium, das die Wärme weiterleitet. Man ist somit vollständig auf Strahlung angewiesen. Wir haben diese Infrarotlampen so konzipiert, dass sie viel Energie in einem kleinen Raum unterbringen können. Dadurch kann man die Temperatur extrem schnell ändern – in Sekunden, nicht in Minuten. Wenn man nicht mehr warten muss, bis die Kammer warm ist, sinkt die Gesamtkosten pro Wafer.

Vakuum on Pro Quartz Infrared Heating

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Vakuumkompatibler Infrarotheizer