Digitale Steuereinheit für Infrarot Trockner

Fri, 17 Jul 2026 06:07:21 +0800

Das Ende des Albtraums durch geplatzte Glühröhren bei der Wafer-Trocknung
In einer hochbelasteten Halbleiterfabrik ist ein geplatzte Infrarotglühröhre nicht einfach nur ein „technischer Fehler“ oder eine kurze Stillstandzeit – es handelt sich dabei um eine echte Katastrophe.
Stellen Sie sich vor: Die Quarzröhre bricht – plötzlich regnen Glasscherben und Halogengas auf die Wafer herab. Ein einziger Bruch bedeutet, dass ganze Chargen als unbrauchbar gelten. Das ist eine Situation, bei der jeder Ingenieur am liebsten sofort nach Hause gehen würde.
Wir haben unsere digitalen Steuergeräte sowie Lampenanordnungen speziell so entwickelt, dass so etwas niemals passiert.

Kompakter Infrarot Trockner für ICs

Sun, 28 Jun 2026 05:22:11 +0800

Auf dem Lithoflachbett kann bereits eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad dazu führen, dass die kritischen Dimensionen der Wafer beeinträchtigt werden – mit dem Ergebnis, dass ganze Waferchargen unbrauchbar werden. Man benötigt keine Hitze, die „nah am gewünschten Wert“ liegt. Vielmehr ist es notwendig, dass die Temperatur stets innerhalb der vorgegebenen Grenzen bleibt.

Was wir entwickelt haben – und warum das wichtig ist
Wir haben diesen kompakten Infrarottrockner mit Mittelwellen-NIR-Emittern sowie einer quarzbasierten Wärmequelle ausgestattet. Dadurch können wir eine Temperaturkonstanz von ±0,1°C über die gesamte Fläche der Wafer gewährleisten. Die geschlossene Regelung sorgt dafür, dass die Temperatur immer konstant bleibt – somit bleiben sowohl die sanften als auch die intensiven Trocknungsprozesse innerhalb der zulässigen Temperaturgrenzen des Fotoresists.

Trockner on Pro Quartz Infrared Heating

Digitale Steuereinheit für Infrarot Trockner

Kompakter Infrarot Trockner für ICs