Timer für Waftrocknungsofen

Wed, 03 Jun 2026 12:14:39 +0800

Auf der Fertigungsebene wird ein verpasster Bake-Zeitraum oder eine Abweichung in der Trocknungszeit nicht als Papierkramproblem abgetan. Man nennt es Ausschuss.
Die Zeiten für Photoresist Soft Bake und Hard Bake legen die CD-Kontrolle und Haftung bereits zu Beginn fest. Im Packaging zeigt sich Restfeuchte später als Delamination nach dem Mold- und Reflow-Prozess.
Der Ofentimer darf keine einfache Stoppuhr sein. Er muss den Prozess verankern.

Was technisch zählt
Dieser Timer für Wafer-Trocknungsöfen liefert wiederholbare Zeiten mit ±0,1 % Sollwertgenauigkeit über Back- und Trocknungszyklen und hält die Zeit auch bei Spannungsschwankungen dank nichtflüchtigem Speicher. Er lässt sich über potentialfreie Kontakte und 4-20 mA Eingänge in Ofen-PLCs integrieren und protokolliert Zeit, Temperatur und Alarme im MES für exakte Rückverfolgbarkeit.
Das Display ist auch aus der Entfernung gut lesbar, selbst bei schwacher Beleuchtung. Die Benutzeroberfläche ist bewusst einfach gehalten, um Bedienerabweichungen zu minimieren.
Thermisches Budgetmanagement zeigt sich in der Arbeit: Konsistente Zeiten halten Photoresist-Profile stabil und verhindern Übertrocknung, die Rückstände verhärten und Partikelzahlen erhöhen kann.

Timer on Pro Quartz Infrared Heating

Timer für Waftrocknungsofen