http://quartz-ir-heat-pro.com/de/tags/thermoelement/ Recent content in Thermoelement on Pro Quartz Infrared Heating Hugo de Tue, 30 Jun 2026 04:53:24 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/de/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Tue, 30 Jun 2026 04:53:24 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/de/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Thermoelement für Halbleiterheizer"></p> <p>Auf der Produktionsfläche braucht man keine Erklärungen, um zu verstehen, was unter thermischer Drift zu verstehen ist. Eine Behandlung bei 110°C kann in Wirklichkeit bei 112°C stattfinden – dadurch verschieben sich die kritischen Abmessungen um Nanometer. Das ist keine Theorie – das ist <a href="https://goldisgood.com">Realit</a>ät.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Wir setzen einen Typ-K-Thermoelement direkt in den Halbleiterheizblock ein, sodass die Temperatur der Waferoberfläche gemessen werden kann – und nicht nur die Temperatur der Heizschicht. Dadurch wird eine geschlossene Regelung möglich, mit einer Genauigkeit von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Substrats hinweg. Der Sensor befindet sich in einem hochreinen Quarzkörper oder in einer metallischen Hülle, die für Reinräume geeignet ist. Zudem sorgt ein hermetisches Anschlusssystem dafür, dass keine Partikel entstehen.</p>