Halogenlampe für RTP System

Mon, 22 Jun 2026 23:30:23 +0800

In der Fertigungshalle sind thermische Schwankungen keine Theorie – sie zeigen sich in Schwankungen der Linienbreite sowie in Problemen bei der Herstellung der Produkte. Bei der RTP-Methode ist die Lampe das Element, das man tatsächlich bedient. Wenn sich das Wärmeprofil verändert, bricht auch das Profil des Photoresists zusammen – und man hat damit unnötig Energie verschwendet.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden für die RTP-Methode Halogenlampen mit kurzwelligem Infrarotlicht, damit das Silizium die Wärme direkt und schnell aufnehmen kann. Dadurch wird eine Steigerung der Leistung innerhalb von Sekunden erreicht, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. In der aktiven Zone bleibt die Temperaturkonstanz auf dem Wafer bei ±0,1°C – genau diese Kontrolle sorgt dafür, dass die Eigenschaften des Produkts konstant bleiben. Die Quarzkapsel sowie die Geometrie der Glühfäden sind so gestaltet, dass die Leistung über 5.000 Stunden hinweg konstant bleibt, wobei die Intensitätsänderungen unter 5% liegen. Die Leistung muss an die thermische Masse des Prozesses angepasst werden: Schnell, wenn eine schnelle Behandlung erforderlich ist; kontrolliert, wenn sanfte oder intensive Behandlungs Schritte durchgeführt werden.

System on Pro Quartz Infrared Heating

Halogenlampe für RTP System