Richtungsbehaftete Infrarotheizung zur Trocknung von MEMS Wafern sowie zur Gewährleistung der Sicherheit der Geräte

Trocknen von MEMS-Chips ohne Probleme Das Trocknen von MEMS-Sensorchips ist eine Art „Seiltanz“. Man möchte, dass das Wasser schnell verschwindet –...