Verringerung der Hitzeentwicklung in Halbleiterausrüstungen durch gezielte IR Heizung
Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung durch Hitze zu schädigen – es gibt eine bessere Methode, mit der Wärme umzugehen. Die meisten Standardheizelemente...
Sicherheitsabstand für Wafererwärmung
On the fab floor ist der Abstand zwischen Wafer und Heizelement kein Randaspekt – er ist ein Prozessparameter, den man nicht vernachlässigen darf....