Maximierung der Strahlungsenergieübertragung bei der Waferverarbeitung durch mit Gold beschichtete IR Reflektoren
Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Warum Goldbeschichtete Reflektoren wirklich wichtig sind Seien wir ehrlich: Energieverschwendung bei der...
Präziser IR Sensor für Wafer
Auf der Linie trifft der Wafer mit einem äußerst knappen thermischen Budget auf die Bake-Station. Soft Bake definiert das Photoresist-Profil. Hard...