Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Fri, 10 Jul 2026 12:50:38 +0800

Semi-Fabs grüner machen durch Vakuum-Infrarotheizung
Wenn wir tatsächlich eine Kohlenstoffneutralität in den Halbleiterfabriken erreichen wollen, müssen wir über die Heizung sprechen. Die meisten herkömmlichen Widerstandsheizungen sind einfach verschwenderisch – es dauert ewig, bis sie vollständig erhitzt sind, und außerdem entweicht Energie überallhin.

Deshalb verwenden wir vakuumkompatible Infrarotheizer. Anstatt die gesamte Vakuumkammer zu erhitzen – was pure Energieverschwendung wäre – richten diese Heizer ihre kurzwelligen Strahlen direkt auf das Wafer. Das ist eine effektive Methode zur Erwärmung.

Umgang mit Wärme im Vakuum
Im Vakuum gibt es kein Luftmedium, das die Wärme weiterleitet. Man ist somit vollständig auf Strahlung angewiesen. Wir haben diese Infrarotlampen so konzipiert, dass sie viel Energie in einem kleinen Raum unterbringen können. Dadurch kann man die Temperatur extrem schnell ändern – in Sekunden, nicht in Minuten. Wenn man nicht mehr warten muss, bis die Kammer warm ist, sinkt die Gesamtkosten pro Wafer.

Kompatibel on Pro Quartz Infrared Heating

Vakuumkompatibler Infrarotheizer