Kaufen Sie Infrarotleuchten in Großmengen für die Fertigung.

Fri, 19 Jun 2026 05:49:33 +0800

In der Fertigungshalle sind thermische Schwankungen während des Trocknungsprozesses des Fotoresists keine Hypothese – sie äußern sich in einer Veränderung der Linienbreite, einer schwachen Haftung des Fotoresists sowie in einem Rückgang der Ausbeute. Wenn das Temperaturprofil des Ofens nicht konstant bleibt, leidet der Wafer darunter. Wir haben unsere Infrarotleuchten so gestaltet, dass dieses Temperaturprofil von Cycle zu Cycle konstant bleibt.

Was wirklich wichtig ist, ist die Kontrolle über die Temperatur. Diese Leuchten strahlen Kurzwellen-Infrarot aus – mit schneller Reaktionszeit und präziser Spektrenkontrolle. Dadurch bleibt die Homogenität auf der Oberfläche des Wafers bei ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,2°C über 10.000 Zyklen hinweg. Die Leuchten entsprechen den Anforderungen von Reinräumen – das Quarzkörpergehäuse sowie die keramischen Komponenten erfüllen die ISO-Klassifikationen 1–100. Es kommt zu keiner Partikelfreisetzung und zu einer Gaseemission unterhalb von ppb. Die Leistungsdichte wird so eingestellt, dass Lösungsmittel vollständig verdampfen können, ohne dass der Fotoresist geschädigt wird. Bei höheren Temperaturen erfolgt eine stabile Vernetzung des Fotoresists.

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