IR on Pro Quartz Infrared Heating

Keramische Endkappe für IR Emitter

Wed, 22 Jul 2026 04:22:22 +0800

Warum Ihre IR-Emitter bessere Endkappen benötigen
Wer schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet hat, weiß, dass eine präzise Heizung entscheidend dafür ist, ob alles funktioniert oder nicht. Wir alle sind auf IR-Emitter angewiesen, um die Temperatur der Wafer konstant zu halten. Doch es gibt ein immer wieder auftretendes Problem: Der Punkt, an dem das Heizelement mit dem elektrischen Leiter in Berührung kommt. Genau dort versagt das System oft. Deshalb nutzen wir keramische Endkappen. Man kann sie als Art „thermische Schutzmauer“ betrachten. Sie halten die Komponenten fest – und verhindern gleichzeitig, dass die Wärme in die Verbindungsleitungen eindringt und dort Schäden verursacht.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Sun, 12 Jul 2026 09:31:41 +0800

Wie man Staub vermeidet: Wie man eine IR-Heizung in einem Klasse-100-Reinraum einsetzen kann
Wenn Sie schon einmal versucht haben, eine herkömmliche IR-Heizung in einem Klasse-100-Reinraum zu verwenden, wissen Sie, wie schwierig das ist. Sobald die Heizung eingeschaltet wird, werden die Wafers oder Linsen sofort beschädigt. Warum? Weil die meisten Heizungen im Grunde genommen „Staubfabriken“ sind – sie lösen sich in kleine Teilchen auf und geben Gase ab, die in keiner Weise in der Nähe Ihres Produkts sein sollten.

Präziser IR Sensor für Wafer

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

Auf der Linie trifft der Wafer mit einem äußerst knappen thermischen Budget auf die Bake-Station. Soft Bake definiert das Photoresist-Profil. Hard Bake sichert die Musterpräzision. Schon wenige Zehntel Grad Drift, ein unsichtbarer Hotspot, und Ihre CDs beginnen zu schwanken. Pellicle-Spannungen verschieben sich. Defekte entgehen der Inspektion. Am nächsten Morgen zeigt die Ausbeuteanalyse direkt auf die Temperatur-Uneinheitlichkeit.

Wir haben einen präzisen IR-Sensor für den Wafer entwickelt, um diese Kettenreaktion an der Quelle zu unterbrechen. Er misst die Wafer-Oberflächentemperatur direkt, in situ, mit der Auflösung und Wiederholgenauigkeit, die Lithografie-Bake-Schritte erfordern. Kein Schätzen von Kammerwänden. Kein Hochrechnen von Thermoelementen, die die Heizung, nicht aber den Resist sehen. Nur ein sauberes, stabiles Signal, auf das Sie Zyklus für Zyklus zählen können.