Halbleiter Anlauf Infrarotlampe

Wed, 24 Jun 2026 03:56:11 +0800

In der Fertigungshalle wird die Schichtplanung nicht unterbrochen, wenn eine Lampe ausfällt. Die Verarbeitungsschritte wie das Weichbrennen, das Hartbrennen sowie das Nachbrennen erfolgen innerhalb eines festgelegten Temperaturbereichs. Wenn die Wärmequelle versagt oder ausfällt, sind alle Teile des Produkts beeinträchtigt: Der Profil der Fotolyseschicht ändert sich, die kritischen Abmessungen verändern sich – und das Ergebnis ist schließlich Ausschuss.

Was technisch wichtig ist:
Wir haben die Infrarotlampe für die Halbleiterverarbeitung um einen Kurzwellen-Infrarotemitter in einer Quarzkapsel herum entwickelt. Das ist die beste Lösung, wenn man eine schnelle Reaktionszeit sowie eine stabile Spektralausgabe von Zyklus zu Zyklus benötigt. Das Ziel ist eine thermische Homogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C. Dies wird durch eine kalibrierte Lampenanordnung sowie eine geschlossene Temperaturregelung erreicht.

Anlassen on Pro Quartz Infrared Heating

Halbleiter Anlauf Infrarotlampe