http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/tags/ztu%C5%BEov%C3%A1n%C3%AD/ Recent content in Ztužování on Pro Quartz Infrared Heating Hugo cs Wed, 24 Jun 2026 03:56:11 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/posts/semiconductor-annealing-infrared-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 03:56:11 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/posts/semiconductor-annealing-infrared-lamp/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Infrakrásová lampa pro zahřívání polovodičů"></p> <p>V prostředí výroby nezpomaluje řadič práci, když selže nějaká lampa. Kroky zpracování – měkké zahřívání, tvrdé zahřívání a zahřívání po expozici – probíhají v rámci určeného teplotního rozsahu. Pokud se zdroj tepla odchýlí od své hodnoty nebo přestane fungovat, dojde k problémům: profil fotoresistu se změní, kritické rozměry se vybočí ze stanovených hodnot a výsledkem je odpad.</p> <p><strong>Co je z technického hlediska důležité</strong><br> Semikondukční infračervená lampa byla navržena tak, aby využívala krátkovlnný infračervený emitor umístěný v křemíkové schránce. Jedná se o vhodné řešení, pokud potřebujete rychlou reakci a stabilní spektrální výstup, cyklus po cyklu. Cílem je dosáhnout teplotní jednotnosti na úrovni waferu ±0,1 °C. Toho je dosaženo díky kalibrované sadě lamp a uzavřenému systému řízení teploty, který udržuje nastavenou teplotu bez překročení limitů.</p>