Sensor on Pro Quartz Infrared Heating

Chytré balení senzorů pro infračervené záření

Tue, 28 Jul 2026 04:57:07 +0800

Proč přecházíme od nuceného ventilování na infračervené záření v balení senzorů

Pokud pracujete v oblasti zpracování chytrých senzorů, víte, že největším problémem je obvykle čekání – konkrétně čekání na to, až se všechno ohřeje.

Dlouho jsme spoléhali na horký vzduch. Ale nucené ventilování je pomalé – musíte nejprve vytopit vzduch, poté celou komoru, teprve potom se díl začne skutečně zahřívat. Je to jako snažit se vytopit dům tím, že budete foukat fénem do obývacího pokoje.

Senzor teploty pro nástroj na wafery

Fri, 24 Jul 2026 11:34:50 +0800

Přestaňte dovolovat, aby vaše topné prvky ničily vaši výrobní efektivitu
Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte ten noční můru. Stačí jediný drobný úlomek materiálu nebo náznak uvolňování látek a celá vaše zásilka se stane odpadem. Je to frustrující. Většina běžných topných prvků prostě není určena k použití v takových podmínkách – začnou se olupovat nebo uvolňovat těkavé organické sloučeniny právě v okamžiku, kdy potřebujete, aby zůstaly stabilní.

Najděli jsme lepší řešení. Používáme lampy s vysoce čistým syntetickým křemenem, určené speciálně pro práci se polovodiči.

Ohřívač na sušení desek senzorů MEMS

Sat, 18 Jul 2026 03:43:12 +0800

Pojďme si promluvit o poruchách světel v procesu sušení MEMS zařízení
Pokud provozujete vysoce náročné zařízení typu MEMS, znáte ten hrozný scénář – světlo praskne.
Nejde jen o dobu výpadku – i když ta je samozřejmě nepříjemná. Jde také o chaos, který vznikne. Když praskne kvartová trubice, na vaše senzorové destičky padají střepy skla a úlomky wolframu. Jedno takové selhání znamená, že celá série produktů je znehodnocena.
Strávili jsme spoustu času tím, abychom přišli na způsoby, jak tomu zabránit.
Proč tyto světla vlastně praskají?
Obvykle to souvisí s teplotními šoky nebo s nadměrným zahřátím. Když pracujete v extrémních podmínkách, teplotní rozdíl mezi vlákny a konci trubice vytváří velké mechanické napětí.
Abychom to vyřešili, používáme vysoce čistý syntetický kvartz. Ten dokáže lépe zvládnout tyto extrémní teplotní změny. Také jsme upravili tloušťku stěn trubice a tlak plynu, aby bod prasknutí byl mnohem vyšší, než jaký nastane během normálního provozu.
Bezpečnostní opatření
Nenecháváme to náhodě. Naše světla mají ochranné kryty a systém, který funguje jako bezpečnostní pojistka. Pokud trubice opravdu praskne, její obal zajistí, aby úlomky neskončily na vašich produktech.
Kromě toho používáme spojky odolné proti vibracím. Výboje na konektorech mohou vést k výbuchům v ne stabilních prostředích, proto jsme se postarali o to, aby spojení zůstala pevná.
Kompromisy, o kterých musíte vědět
Vysokowattnová světla s krátkými vlnovými délkami jsou skvělá pro rychlé sušení MEMS zařízení, ale vydávají velké množství tepla. Nemůžete je prostě umístit do jakéhokoli racku. Vaše chladicí systémy musí být správně navrženy, aby odvedly teplo od konců světel. Pokud je chlazení nedostatečné, začnou se poškozovat těsnění. A jakmile se těsnění poškodí, riziko úniku kapalin a selhání zařízení výrazně vzroste.
Vyrábíme tyto světla pro zařízení, která pracují 24/7. Velmi dbáme na limity kvartzu a na stabilitu obvodů, abyste se nemuseli starat o vaše senzorové destičky a mohli nechat zařízení fungovat bez problémů.

Výrobní ohřívač pro senzor vodíku

Mon, 13 Jul 2026 14:34:48 +0800

Udržování chladna (a bezpečí) při práci s těkavými chemikáliemi

Při výrobě senzorů na vodík je kontrola teploty naprosto klíčová. Ale je tu jeden problém: obvykle se to dělá hned vedle hořlavých čisticích prostředků. V takovém prostředí není standardní infračervená lampa jen nástrojem – je to spíše riziko. Stačí jediná jiskra nebo drobná trhlina v křemíkové trubici a máte vážný problém.

Našli jsme lepší způsob. Místo použití otevřených topných prvků jsme přešli na uzavřený systém.

Zabránění vzniku jisker

V podstatě obalujeme topné prvky do odolného křemíkového pláště, který odolává chemikáliím, a konce pevně uzavíráme pomocí ohnivzdorných těsnění.

Precizní IR senzor pro destičku

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

Na lince wafer narazí na pečicí stanici s velmi úzkým tepelným rozpočtem. Soft bake nastavuje profil fotorezistu. Hard bake zajišťuje věrnost vzoru. Posun o několik desetinek stupně, horké místo, které nevidíte, a vaše CD začnou kolísat. Napětí pellicle se posune. Defekty projdou kontrolou. Ráno při revizi výtěžnosti se ukáže přímo na nerovnoměrnost teploty.

Postavili jsme přesný IR senzor pro wafer, aby přerušil tento řetězec přímo u zdroje. Měří teplotu povrchu waferu přímo, in situ, s rozlišením a opakovatelností, jakou vyžadují pečicí kroky litografie. Žádné odhady z teploty stěn komory. Žádné extrapolace z termočlánků, které vidí topení, nikoliv rezist. Pouze čistý, stabilní signál, na který se můžete spolehnout cyklus za cyklem.