http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/tags/p%C5%99esnost/ Recent content in Přesnost on Pro Quartz Infrared Heating Hugo cs Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Precizní IR senzor pro destičku"></p> <p>Na lince wafer narazí na pečicí stanici s velmi úzkým tepelným rozpočtem. Soft bake nastavuje profil fotorezistu. Hard bake zajišťuje věrnost vzoru. Posun o několik desetinek stupně, horké místo, které nevidíte, a vaše CD začnou kolísat. Napětí pellicle se posune. Defekty projdou kontrolou. Ráno při revizi výtěžnosti se ukáže přímo na nerovnoměrnost teploty.</p> <p>Postavili jsme přesný IR senzor pro wafer, aby přerušil tento řetězec přímo u zdroje. Měří <a href="https://o-yate.net">teplotu</a> povrchu waferu přímo, in situ, s rozlišením a opakovatelností, jakou vyžadují pečicí kroky litografie. Žádné odhady z teploty stěn komory. Žádné extrapolace z termočlánků, které vidí topení, nikoliv rezist. Pouze čistý, stabilní signál, na který se můžete spolehnout cyklus za cyklem.</p>