http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/tags/halogen/ Recent content in Halogen on Pro Quartz Infrared Heating Hugo cs Mon, 22 Jun 2026 23:30:23 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Mon, 22 Jun 2026 23:30:23 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Halogenová lampa pro systém RTP"></p> <p>V prostoru výroby nejsou teplotní výkyvy něčím teoretickým – projevují se jako změny šířky linie a snížení kvality výrobku. V procesu RTP je lampa tím prvkem, který skutečně ovlivňujeme. Pokud se teplotní profil mění, profil fotoresistentu se také změní, a my tím zbytečně spotřebujeme energii.</p> <p><strong>Co je z technického hlediska důležité</strong><br> Pro proces RTP používáme halogenové lampy s krátkovlnným infračerveným zářením, aby křemík mohl teplo přijímat přímo a rychle. To umožňuje rychlé zvyšování teploty během několika sekund, bez překročení požadovaných hodnot. V celé aktivní oblasti zůstává teplota na úrovni ±0,1 °C – právě taková kontrola zajišťuje konzistentní výsledky. Kvartová obálka a geometrie vlákna jsou navrženy tak, aby udržovaly stálou intenzitu světla po dobu více než 5 000 hodin, přičemž odchylky intenzity nepřesahují 5 %. Intenzitu světla je potřeba přizpůsobit tepelné hmotnosti procesu: rychlá intenzita je potřeba při procesech, kdy je potřeba rychlé zahřátí, zatímco kontrolovaná intenzita je potřeba při procesech, kdy je potřeba pomalé zahřátí.</p>