http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/tags/bezpe%C4%8Dnost/ Recent content in Bezpečnost on Pro Quartz Infrared Heating Hugo cs Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/cs/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Bezpečná vzdálenost při ohřevu destiček"></p> <p>Na výrobní lince není mezera mezi waferem a topným tělesem jen poznámkou pod čarou – je to technologický parametr, který nelze opomenout. Pokud se tato vzdálenost změní, rozpadá se i tepelná rovnoměrnost. Profily měkkého i tvrdého pečení vykazují odchylky. Kontrola kritických rozměrů (CD) klesá. Náklady na přepracování rostou.</p> <h2 id="co-je-technicky-nejdůležitější">Co je technicky nejdůležitější</h2> <p>Nastavujeme opakovatelnou bezpečnou vzdálenost, která zaručuje tepelnou rovnoměrnost na úrovni waferu ±0,1°C. Systém využívá krátkovlnné infračervené prvky pro rychlou a <a href="https://goldisgood.com">stabiln</a>í odezvu a geometrie horké zóny je navržena tak, aby eliminovala vznik částic, i v čistých prostorách třídy 1–100. Opakovatelnost teploty je zachována mezi jednotlivými sériemi, směnami i zařízeními, což udržuje tepelný rozpočet v toleranci lithografické sestavy.</p>