ফ্যাব হিটার জন্য সিরামিক ল্যাম্প হোল্ডার

Sun, 07 Jun 2026 03:41:34 +0800

fab floor-এ, আপনি জানেন কত দ্রুত পরিস্থিতি অনির্দিষ্ট হতে পারে। photoresist soft bake-এর সময় 0.5°C তাপমাত্রার বিচ্যুতি যথেষ্ট লাইনবিশদ পরিবর্তনের জন্য। অস্থির drying ramp? এটি micro-bridging-এর সরাসরি কারণ। Thermal repeatability “nice to have” নয়। এটি পুরো প্রক্রিয়া যুক্ত।

আমরা fab heaters-এর জন্য আমাদের সিরামিক lamp holders তৈরি করেছি যাতে infrared heating সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রিত হয়: wafer drying, photoresist pre-bake, এবং hard-bake curing-এর ক্ষেত্রে।

প্রযুক্তিগত দিক থেকে যা গুরুত্বপূর্ণ
সিরামিক বডি উচ্চ তাপমাত্রায় সহনশীল এবং কম outgassing নিশ্চিত করে, ফলে Class 1–100 cleanrooms-এ particle count স্থিতিশীল থাকে। short-wave infrared emitters-এর সাথে মিলিয়ে, আপনি দ্রুত এবং সরাসরি coupling পান photoresist ও substrate এর মধ্যে। এর ফলে সাব-সেকেন্ড রেসপন্স এবং thermal বাজেটের কঠোর নিয়ন্ত্রণ সম্ভব হয়।

Holder on Pro Quartz Infrared Heating

ফ্যাব হিটার জন্য সিরামিক ল্যাম্প হোল্ডার