Trong môi trường sản xuất, bạn không cần phải được giảng giải mới có thể hiểu được hiện tượng dịch chuyển nhiệt độ. Nhiệt độ cần thiết để xử lý wafer là 110°C, nhưng thực tế nó có thể tăng lên đến 112°C. Những thay đổi về kích thước của wafer xảy ra ở mức vài nanomet trước khi quá trình xử lý kết thúc. Đây không phải là lý thuyết suông; đó là thực tế.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi sử dụng cảm biến nhiệt loại K, được đặt trực tiếp bên trong khối gia nhiệt của bộ phận xử lý bán dẫn, nhằm đo nhiệt độ của bề mặt wafer – chứ không phải nhiệt độ bề mặt khối gia nhiệt. Điều này giúp việc kiểm soát nhiệt độ diễn ra một cách chính xác, với độ chính xác lên đến ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Cảm biến được đặt trong vỏ bằng thạch anh có độ tinh khiết cao hoặc kim loại, kèm theo hệ thống kết nối kín, giúp ngăn chặn sự xuất hiện của các hạt bụi.
Cảm biến này có thể chịu được những thay đổi nhiệt độ nhanh chóng và các chu kỳ xử lý lặp đi lặp lại, trong môi trường từ cấp độ 1 đến 100, mà không gây ra hiện tượng thoát khí. Đầu ra của cảm biến luôn ổn định, 24/7, giúp cho quy trình xử lý wafer được thực hiện một cách nhất quán từ lần này sang lần khác.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong công nghệ in ấn bán dẫn Trong công nghệ in ấn bán dẫn, nhiệt độ xử lý photoresist quyết định độ nhớt và độ dày của lớp photoresist, từ đó ảnh hưởng trực tiếp đến độ rộng của các đường nét trên wafer. Với cảm biến nhiệt này, chúng ta có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, giúp quy trình xử lý diễn ra một cách nhất quán. Kết quả là ít xảy ra sai sót, giảm chi phí sửa chữa, và chất lượng sản phẩm được đảm bảo.
Ngoài ra, mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm xuống, vì bộ điều khiển không cần phải cố gắng duy trì nhiệt độ ở mức cố định. Quá trình xử lý diễn ra nhanh hơn, và độ ổn định của quy trình cũng được cải thiện.
Một vài lưu ý khi sử dụng cảm biến Cảm biến nhiệt rất nhạy cảm với độ chính xác khi lắp đặt. Hãy sử dụng phụ kiện kết nối và mô-men xoắn được chỉ định; nếu lắp đặt không chính xác, điểm đo nhiệt độ sẽ bị dịch chuyển, gây ra sai số trong việc kiểm soát nhiệt độ.
Hãy đảm bảo rằng loại kết nối và chiều dài dây dẫn phù hợp với yêu cầu của bộ điều khiển – nếu không, sai số sẽ tăng lên nhanh chóng.
Sau khi bảo trì hoặc thay thế khối gia nhiệt, hãy để cảm biến ở chế độ nóng trong một khoảng thời gian ngắn để ổn định lại. Hãy lên kế hoạch cho việc này trong quy trình chuyển đổi thiết bị, như vậy bạn sẽ không bị bất ngờ.