Tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng phương pháp làm khô bằng tia hồng ngoại trong môi trường sạch?
Khi làm việc trong nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, “môi trường sạch” không chỉ là một mục tiêu – mà đó chính là yếu tố then chốt. Ngay cả một lượng cặn bẩn nhỏ cũng có thể phá hủy toàn bộ sản phẩm được sản xuất ra. Trong thời gian dài, người ta thường sử dụng lò sưởi thông thường để làm nóng không gian. Nhưng thành thật mà nói, việc thổi khí nóng khắp nơi là một cách kém hiệu quả. Bạn đang vô tình khiến các hạt bụi di chuyển khắp nơi trong buồng, và phải tiêu tốn rất nhiều điện năng chỉ để làm nóng không khí và các bức tường.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng bộ gia nhiệt bằng tia hồng ngoại. Thay vì làm nóng toàn bộ không gian, chúng tôi làm nóng chính chất liệu cần xử lý.
Sức mạnh của việc gia nhiệt trực tiếp
Hãy tưởng tượng bạn đứng dưới ánh nắng mặt trời vào một ngày lạnh. Bạn không cần không khí có nhiệt độ 80 độ C mới cảm thấy ấm; ánh nắng mặt trời sẽ trực tiếp chiếu vào cơ thể bạn. Tia hồng ngoại cũng làm điều tương tự với các tấm wafer.
Vì chúng ta không cần phải làm nóng không khí, chúng ta có thể loại bỏ nguồn gây ô nhiễm lớn nhất trong môi trường sạch. Hơn nữa, phương pháp này còn hiệu quả hơn nhiều. Bạn không cần phải trả tiền để làm nóng một chiếc hộp kim loại lớn; năng lượng được sử dụng một cách hiệu quả nhất vào chỗ cần thiết. Đó là cách tốt nhất để đáp ứng các tiêu chuẩn về môi trường và không sử dụng hóa chất độc hại.
Những khó khăn trong việc sử dụng phương pháp này
Tuy nhiên, việc sử dụng phương pháp này không hề đơn giản. Chúng tôi thường sử dụng các bóng đèn sóng ngắn hoặc sóng trung bình vì chúng có thể làm nóng ngay lập tức. Điều này giúp tiết kiệm rất nhiều thời gian trong quá trình sản xuất.
Nhưng cũng có một số khó khăn. Vì nhiệt độ được tạo ra rất cao, nên chúng ta cần phải chú ý đến khoảng cách giữa bóng đèn và tấm wafer. Nếu khoảng cách quá gần, tấm wafer sẽ bị biến dạng. Chúng ta cần một hệ thống điều khiển với chức năng PID để có thể phản ứng nhanh chóng, ngăn không cho nhiệt độ vượt quá mức cho phép.
Hiệu quả cao và ít gây ô nhiễm hơn
Điều tốt nhất là thiết bị sử dụng phương pháp này có kích thước nhỏ hơn nhiều. Chúng ta có thể loại bỏ những máy thổi khí lớn và lớp cách nhiệt dày, nhờ đó diện tích cần thiết để đặt thiết bị giảm đi đáng kể. Phương pháp này giúp chuyển đổi điện năng thành nhiệt năng một cách hiệu quả hơn so với các bộ gia nhiệt dùng gas hoặc điện trở truyền thống.
Cuối cùng, chúng ta sử dụng ít năng lượng hơn cho mỗi tấm wafer, đồng thời đảm bảo quy trình sản xuất diễn ra trong môi trường sạch. Đó chính là lý do tại sao phương pháp này rất phù hợp với các nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn hiện đại.